সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবস এবং বিশ্লেষণমূলক পরীক্ষাগারগুলির জন্য ইলেক্ট্রো-পলিশড সারফেস এবং কণা পর্যবেক্ষণ সহ অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা এক ইঞ্চি হালকা গ্যাস ভালভ

দূষণ-সংবেদনশীল পরিবেশের জন্য সুনির্দিষ্টভাবে ডিজাইন করা হয়েছে, এই কণা-নিয়ন্ত্রিত এক ইঞ্চি হালকা গ্যাস ভালভ সমালোচনামূলক গ্যাস বিতরণ সিস্টেমে অখণ্ডতা নিশ্চিত করে। 316L-VAR স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে তৈরি, এতে রয়েছে <0.5 Ra µm ইলেক্ট্রো-পলিশড ফিনিশ, এই উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ভালভ সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া গ্যাসের জন্য ক্লাস 1/ISO 2 কণা মান অর্জন করে। স্ব-সারিবদ্ধ শঙ্কুযুক্ত সিল ডিজাইন মেটাল-টু-মেটাল যোগাযোগ দূর করে, যা 100,000+ অ্যাকচুয়েশনের সময় কণা তৈরি হওয়া প্রতিরোধ করে। একটি অপরিহার্য গ্যাস ভালভ, এটি 1x10⁻⁹ atm-cc/sec He পর্যন্ত হিলিয়াম-লিক-টাইট অখণ্ডতার জন্য VCR-স্টাইলের ফেস সিল অন্তর্ভুক্ত করে, আর্সাইন এবং সিলেনের মতো বিশেষ গ্যাসের জন্য ppb-স্তরের বিশুদ্ধতা বজায় রাখে। নন-শেডিং PTFE স্টেম সিল এবং শূন্য-ডেড-লেগ কনফিগারেশন SEMI F72 মান পূরণ করে। ইনস্টলেশনের সময় ইন-সিটু ISO 14644-1 ক্লাস 3 কমপ্লায়েন্স যাচাইয়ের জন্য ইন্টিগ্রাল কণা পর্যবেক্ষণ পোর্ট অন্তর্ভুক্ত করে।

গুরুত্বপূর্ণ বিষয়সমূহ:
✓ ন্যানোস্কেল পরিচ্ছন্নতা: <5 particles>0.1μm প্রতি লিটার (প্রতি IEST RP CC001.6)
✓ বুদ্বুদ-টাইট সিলিং: 1x10⁻⁹ atm-cc/sec হিলিয়াম লিক হার
✓ ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: ASTM A967 নাইট্রিক অ্যাসিড পদ্ধতি অনুসারে প্যাসিভেট করে
✓ কম্পন-মুক্ত অপারেশন: অ্যান্টি-রেজোন্যান্স স্টেম ডিজাইন
✓ ফ্যাব-প্রমাণিত: SEMI F72-compliant গ্যাস ভালভ

অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতি:
একটি সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমে, প্রযুক্তিবিদরা 5nm চিপ তৈরির গ্যাস লাইনের কমিশনিংয়ের সময় শূন্য দূষণ যাচাই করতে কণা কাউন্টার ব্যবহার করে ভালভ স্থাপন করেন।

FAQ:

প্রশ্ন: এই উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ভালভের সাথে কী কণা সার্টিফিকেশন আসে?
উত্তর: 0.1-5.0μm কণা বিতরণ ডেটা সহ IEST-CC0016 ক্লাস 1 রিপোর্ট।

প্রশ্ন: আপনার গ্যাস ভালভ বিষাক্ত ডোপ্যান্টগুলির সাথে কি সামঞ্জস্যপূর্ণ?
উত্তর: হ্যাঁ, সম্পূর্ণ উপাদান সামঞ্জস্যের সাথে SEMI S2 বিভাগ 1 গ্যাসের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

প্রশ্ন: আমি কি প্রক্রিয়া বাধা ছাড়াই কণা পর্যবেক্ষণ সংহত করতে পারি?
উত্তর: হ্যাঁ, নমুনা পোর্টগুলি ISO 14644-1 কমপ্লায়েন্ট ইন-সিটু যাচাইকরণের অনুমতি দেয়।

প্রশ্ন: আউটগ্যাসিং পারফরম্যান্স কেমন?
উত্তর: <1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM প্রতি NASA-STD-6001B।

প্রশ্ন: আপনি কি ইনস্টলেশন দূষণ নিয়ন্ত্রণ প্রোটোকল সরবরাহ করেন?
উত্তর: বিস্তারিত ISO 14644-5-compliant ইনস্টলেশন কিট উপলব্ধ।